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在半導體制造與微納加工領域,“分辨率”幾乎是所有工藝討論中繞不開的關鍵詞。無論是......

從瑞利判據到數字光場:光刻分辨率的極限與工程實踐的權衡

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衍射極限與超分辨率的物理直觀:從光學到電子束的跨越

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在微納加工領域,電子束光刻(EBL) 技術也利用了電子束的短波長優勢。它使用聚焦......

濕粘顆粒堵孔難:翻轉流篩技術實現高效分離

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在當前推動礦產資源清潔高效利用的國家政策背景下,振動篩分作為煤炭等關鍵能源資源加......

從物理模板到數字光場:無掩模光刻技術如何重構微納加工的研發范式

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光刻無疑是定義器件幾何形態的基石。對于那些深耕于電子顯微鏡及原位測量系統領域、擁......

澤攸科技壓電驅動技術突破:雙模式電機實現從毫米級到納米級的無縫精密運動

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壓電超聲電機(USM)利用壓電材料的逆壓電效應,通過高頻結構振動共振模式實現驅動......

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澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(EBL)是一款高性能、高精度的光刻設備,專為......

國內EBL鄰近效應修正技術面臨的挑戰

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EBL憑借電子波長短,不受衍射限制等優勢,對比光學光刻具有更高的理論極限分辨率,......

澤攸科技DMD無掩膜光刻機賦能仿視網膜雙模光電探測器的制備

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隨著機器視覺技術在無人機、智能車輛和移動機器人等領域的快速發展,實時成像系統對硬......