掃描電鏡是一種常用的材料表征儀器，其主要功能是通過掃描樣品表面，獲取高分辨率的表面形貌和成分信息。掃描電鏡的重要參數包括：

分辨率：是指掃描電鏡成像的最小分辨距離，通常分辨率越高，掃描電鏡成像的細節越清晰。掃描電鏡分辨率通常可達到亞納米級別。

放大倍數：是指掃描電鏡成像時，樣品圖像與實際樣品尺寸之間的比例。放大倍數越大，觀察到的樣品細節越細致，通常可以達到數十萬至數百萬倍的放大倍數。

加速電壓：是指掃描電鏡中電子束加速的電壓，它會影響掃描電鏡成像的深度、分辨率和亮度等性能。加速電壓越高，成像深度越淺，但是分辨率越高，亮度也越高。一般掃描電鏡的加速電壓范圍在幾百伏至數十千伏之間。

探針電流：是指掃描電鏡中聚焦電子束的電流強度。探針電流的大小與掃描電鏡成像的深度和分辨率有關。通常情況下，探針電流的值會影響掃描電鏡成像的信噪比和灰度等性能。

工作距離：是指掃描電鏡中探針與樣品表面之間的距離。工作距離的大小與成像深度、聚焦情況和探針電流等參數有關。

除此之外，掃描電鏡還有一些其他的參數，如掃描方式、探針尺寸、光學系統等，這些參數也會影響到掃描電鏡的成像性能和實驗效果。在使用掃描電鏡時，需要根據實際需求選擇適當的參數，以達到高質量的成像效果。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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