在掃描電子顯微鏡（SEM）中，正確找到焦點(diǎn)（焦平面）是獲得清晰圖像的關(guān)鍵步驟。下面我詳細(xì)說(shuō)明操作方法和注意事項(xiàng)：

一、焦點(diǎn)的判斷依據(jù)

圖像清晰度

當(dāng)樣品表面在焦平面時(shí)，電子束聚焦最小，圖像邊緣銳利。

微調(diào)焦距時(shí)，圖像由模糊到清晰再到模糊，最清晰處即為焦點(diǎn)。

對(duì)比度和細(xì)節(jié)

焦點(diǎn)正確時(shí)，表面微結(jié)構(gòu)和邊緣細(xì)節(jié)清晰。

離焦時(shí)，圖像邊緣模糊，顆粒或紋理細(xì)節(jié)丟失。

無(wú)拖影或波紋

掃描過(guò)程中，焦點(diǎn)偏離會(huì)產(chǎn)生條紋、波紋或拖尾。

焦點(diǎn)正確時(shí)，圖像穩(wěn)定無(wú)抖動(dòng)。

二、焦點(diǎn)調(diào)整操作步驟（通用）

粗調(diào)焦

切換到低放大倍率觀察樣品整體。

調(diào)整樣品臺(tái) Z 軸（上下移動(dòng)）或電子束工作距離（WD）讓圖像大致清晰。

微調(diào)焦

切換到高放大倍率（如 ×5000 或更高）。

使用 Fine Focus（細(xì)調(diào)焦旋鈕）緩慢旋轉(zhuǎn)。

觀察圖像清晰度變化，直到邊緣銳利、細(xì)節(jié)最清晰。

對(duì)不同區(qū)域取平均焦點(diǎn)

如果樣品表面不平整，可選擇多個(gè)區(qū)域微調(diào)焦距。

對(duì)不同區(qū)域單獨(dú)聚焦或調(diào)整樣品臺(tái)角度，使表面盡量平行于電子束。

三、輔助方法

自動(dòng)聚焦

大多數(shù) SEM 有自動(dòng)聚焦功能。

儀器通過(guò)圖像銳度算法調(diào)整透鏡電流，使圖像達(dá)到最大清晰度。

自動(dòng)聚焦適合快速定位，但高分辨率下仍需微調(diào)。

電子束十字法（Spot Focus）

在高放大倍率下，顯示電子束中心區(qū)域。

調(diào)整焦距直到光斑最小、邊緣銳利。

景深判斷

SEM 景深大，觀察樣品表面不同高度區(qū)域。

清晰的高度即焦平面。