在掃描電鏡中，樣品高度（Z 方向位置）會(huì)直接影響成像清晰度、分辨率以及測(cè)量準(zhǔn)確性，是容易被忽視但非常關(guān)鍵的參數(shù)。

影響焦點(diǎn)與清晰度

樣品高度變化會(huì)改變工作距離，偏離高度時(shí)圖像容易失焦、邊緣變虛。

高度不一致的樣品在同一視場(chǎng)內(nèi)會(huì)出現(xiàn)局部清晰、局部模糊。

影響分辨率與信號(hào)強(qiáng)度

接近適合的工作距離時(shí)，電子束斑最小，分辨率最高。

樣品過(guò)高或過(guò)低都會(huì)導(dǎo)致束斑增大，細(xì)節(jié)對(duì)比下降。

改變放大倍率與尺寸測(cè)量

樣品高度變化會(huì)引入倍率誤差，影響尺寸測(cè)量的準(zhǔn)確性。

精密測(cè)量前應(yīng)將樣品調(diào)到廠家標(biāo)定的參考高度。

影響探測(cè)器接收效率

高度變化會(huì)改變樣品與探測(cè)器的幾何關(guān)系，導(dǎo)致亮度和對(duì)比度變化。

二次電子像對(duì)高度變化尤為敏感。