在掃描電鏡中，正確聚焦是獲得清晰、可靠圖像的基礎(chǔ)操作，應(yīng)按由粗到細的順序進行。

低倍粗調(diào)聚焦

先在低放大倍率下找到樣品區(qū)域。

調(diào)整 Z 軸或焦距旋鈕，使整體輪廓基本清晰。

逐步提高放大倍率

在保持圖像穩(wěn)定的前提下，逐級放大。

每提高一次倍率，重新微調(diào)焦點。

使用細節(jié)區(qū)域?qū)?/span>

選擇邊緣、顆?；蚣y理明顯的區(qū)域作為參考。

細調(diào)焦距，使邊緣最銳利、對比度高。

配合消像散調(diào)整

若圖像在某一方向模糊，需配合像散校正。

焦距與像散通常需交替微調(diào)。

確認(rèn)穩(wěn)定性

停止操作后觀察數(shù)秒，確認(rèn)圖像無明顯漂移或虛化。