在掃描電鏡操作中，對(duì)焦和消像散是有固定先后順序的，順序不當(dāng)會(huì)反復(fù)調(diào)節(jié)卻始終不清晰。

一般原則是：先對(duì)焦，再消像散，再精細(xì)對(duì)焦。

首先進(jìn)行粗到細(xì)的對(duì)焦。在目標(biāo)放大倍率下，通過焦距調(diào)節(jié)讓圖像盡量清晰，這一步的目的是把焦點(diǎn)調(diào)到正確位置，為像散校正提供基礎(chǔ)。

然后進(jìn)行消像散。像散會(huì)導(dǎo)致圖像在某一方向拉伸或發(fā)虛，在放大倍率較高時(shí)明顯。通過調(diào)節(jié) X、Y 像散旋鈕，使圖像在各個(gè)方向都同樣清晰，邊緣不再出現(xiàn)方向性模糊。

消像散后，圖像焦點(diǎn)通常會(huì)發(fā)生輕微變化，因此需要再次進(jìn)行精細(xì)對(duì)焦，讓整體清晰度達(dá)到適合狀態(tài)。

在實(shí)際操作中，常在較高倍率下完成“對(duì)焦 → 消像散 → 再對(duì)焦”這一循環(huán)，直到圖像穩(wěn)定、細(xì)節(jié)清楚為止。掌握這個(gè)順序，是獲得高質(zhì)量 SEM 圖像的關(guān)鍵。