掃描電鏡成像時(shí)容易丟細(xì)節(jié)，通常不是分辨率“不夠”，而是成像條件把細(xì)節(jié)掩蓋或平均掉了，常見(jiàn)原因主要有這些。

首先是電子束條件不合適。束斑太大、工作距離偏大，實(shí)際可分辨尺寸已經(jīng)超過(guò)樣品細(xì)節(jié)尺度，即使放大再高，細(xì)節(jié)也出不來(lái)。束流過(guò)大時(shí)，電子束會(huì)把微小起伏平均掉，細(xì)節(jié)對(duì)比下降。

對(duì)焦和像散校正不到位也是高頻原因。輕微失焦在低倍下不明顯，但在高倍下會(huì)直接抹掉高頻細(xì)節(jié)。像散沒(méi)調(diào)好時(shí)，邊緣變軟，紋理看起來(lái)“糊”在一起。

掃描參數(shù)設(shè)置不當(dāng)同樣會(huì)丟細(xì)節(jié)。掃描太快、沒(méi)有線平均或幀平均，噪聲大，真實(shí)細(xì)節(jié)被噪聲淹沒(méi)；但平均過(guò)多又會(huì)引入漂移模糊，把細(xì)節(jié)拉平。

樣品本身問(wèn)題也很關(guān)鍵。非導(dǎo)電樣品充電，會(huì)導(dǎo)致亮度不穩(wěn)和局部拉花，細(xì)節(jié)被破壞。表面有污染、油膜或水汽，會(huì)顯著降低二次電子發(fā)射效率，細(xì)節(jié)對(duì)比下降。

加速電壓選擇不合理也會(huì)影響細(xì)節(jié)。電壓過(guò)高時(shí)，電子作用體積變大，信號(hào)來(lái)自更深層，表面細(xì)節(jié)被“稀釋”；電壓過(guò)低時(shí)，信噪比不足，細(xì)節(jié)又容易被噪聲吃掉。

機(jī)械和環(huán)境因素。樣品臺(tái)漂移、微振動(dòng)或溫度不穩(wěn)定，在高倍下都會(huì)把細(xì)節(jié)“抹平”，看起來(lái)像分辨率下降。