電子束光刻機依靠聚焦電子束直接在抗蝕劑表面完成圖形寫入，在微納結構制備過程中，經常出現圖形邊緣鋸齒、輪廓粗糙、局部線條毛刺等問題，直接影響成品尺寸精度，需要從設備狀態、參數設置、樣品條件多維度開展排查與優化。

電子光學系統狀態是影響邊緣質量的首要因素。電子槍燈絲老化、發射穩定性下降，會造成束流發生小幅波動，束斑形態出現畸變，寫入軌跡就會產生不規則毛刺。透鏡系統存在殘余像散、聚焦沒有校準到適合狀態，也會讓束斑無法收斂到理想尺寸，掃描軌跡邊緣變得模糊粗糙。不同品牌型號設備的電子光學組件性能存在差異，束斑控制上限、像散補償能力各不相同，故障表現的明顯程度也會有所區別。日常作業前，需要完成束流穩定性檢查，執行消像散與聚焦校準，確認束斑形態正常之后，再開展正式曝光作業。

曝光工藝參數設置不合理同樣會帶來邊緣缺陷。掃描步長設置過大，相鄰掃描點之間間距超出束斑覆蓋范圍，圖形輪廓就會呈現明顯鋸齒；掃描速度過快，系統采樣響應來不及跟隨偏轉信號，會造成軌跡抖動。束流與曝光劑量匹配失衡，高束流工況下電子之間庫侖排斥效應加劇，束斑發生展寬，同樣會破壞圖形邊緣質量中國物理學...。實際調試時，可適度縮小掃描步長，平衡掃描速度與束流等級，在加工效率和圖形質量之間找到適配工況，同時開啟設備自帶的圖形平滑處理功能，改善輪廓表現。

樣品與環境因素也不可忽視。基底表面存在顆粒、污漬，抗蝕劑涂布厚度不均勻，都會造成局部電子散射異常，引發邊緣畸變。外界微振動、電磁干擾會干擾偏轉系統，讓電子束掃描軌跡發生偏移。作業環境應當做好減振、電磁屏蔽，樣品預處理階段保證基底潔凈，抗蝕劑旋涂、前烘工藝嚴格執行規范，減少樣品本身帶來的缺陷干擾。完成參數調整后，優先做小樣試曝光，觀測圖形邊緣形貌，迭代優化各項工藝條件，再進行大批量加工。